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Handbook of Plasma Processing Technology


Handbook of Plasma Processing TechnologyAutor: Rossnagel, Cuomo, and Westwood
Kategorie: Mikroelektronik

Inhalt (PDF)

Sprache: en
Copyright: 1990
Spezifikationen:
Seiten: 523
6 x 9, Hardcover
ISBN: 0-8155-1220-1

Inhalt:

Dies ist eine umfassende Übersicht über die Technologien der plasma-basierten Verarbeitung, geschrieben von einer Gruppe von 29 herausragenden Autoren.

Preise:

Listenpreis: 122,00 US$

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